激光技能广泛应用于智能手机
准分子激光成功应用于智能手机显示屏出产
智能手机的遍及推动着智能手机商场的增加,商场对更高规格产品的要求也在进步,包含显示屏尺度、分辨率和电池寿命。
作为一个要害的加工工艺,准分子激光退火(Excimer Laser Annealing, ELA)将非晶硅(a-Si)转变为多晶硅(p-Si),使电子迁移率进步了数百倍,由此可以提高高端薄膜晶体管或显示屏中的像素密度。准分子激光器线光束体系可以加工智能手机和OLED电视所需的有源矩阵驱动液晶显示屏(AMLCD)和主动矩阵有机发光二极管面板(AMOLED)。在最新的ELA体系中,由精巧的柱面光具传输出均匀的线形光束(尺度为750 mm×0.4 mm),可对第八代面板完成快速退火。
智能手机商场的需求
平板显示器(Flat Panel Display, FPD)的制作商不得不面临着日益严苛的要求,例如更高的分辨率、增强的对比度、更快的响应时刻,一起还要下降显示器的功耗。
晶体随机笔直成长的原理图(左图)和ELA工艺中的典型晶粒形式
图1、晶体随机笔直成长的原理图(左图)和ELA工艺中的典型晶粒形式
这些要求超出了惯例显示屏(非晶硅背板)的功能极限。在智能手机和平板电脑上,高功能显示屏的分辨率可达300像素/英寸以上——苹果手机iPhone 5的Retina显示屏就是一个很好的比如;该特性得益于导电背板具有较高的电子迁移率,而导电背板正是源自非晶硅。
准分子激光退火技能促进平板显示屏制作业从非晶硅转变到多晶硅背板。因为这一技能具有低温加工的特色,故得名“低温多晶硅”(Low Temperature Polysilicon, LTPS),它相同适用于制作新式的OLED显示屏以及柔性显示屏。
智能手机商场的增加有赖于低温多晶硅
在有源矩阵平板显示屏中,硅是薄膜晶体管(TFT)矩阵的半导体根底,而TFT矩阵可以对各自独立的像素进行操控。起先,薄膜堆积是经过传统的堆积技能来处理,例如在通明玻璃基材上选用PECVD法。所得到的硅薄膜其实对错晶态的,显示出严峻的缺点,因而约束了其应用于有源矩阵操控型LCD和OLED显示屏;而多晶硅却能战胜这一缺点,或许简而言之,多晶硅具有百倍高的载流子迁移率。
